近日，由西安交通大學(xué)電氣工程學(xué)院質(zhì)譜器團隊牽頭研發(fā)的“十四五”國家重點研發(fā)計劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器研發(fā)專項”成果——高分辨輝光放電質(zhì)譜儀(型號：Sparkle)完成用戶交付，標(biāo)志著我國高端科學(xué)儀器國產(chǎn)化進程取得關(guān)鍵突破。
輝光放電質(zhì)譜儀是探查固體材料的“超級顯微鏡”。在芯片制造等高端產(chǎn)業(yè)中，基體材料中哪怕混入痕量雜質(zhì)，都可能引發(fā)晶格缺陷，導(dǎo)致整塊芯片失效。而輝光放電質(zhì)譜儀具備低至ppt(萬億分之一)級別的超高痕量檢測限，是實現(xiàn)超高純材料雜質(zhì)精準(zhǔn)定量不可或缺的高端精密儀器。
過去，輝光放電質(zhì)譜儀完全依賴進口，采購和維修成本極其高昂。此次商業(yè)化落地，直接解決了科薈測試等國內(nèi)檢測機構(gòu)和相關(guān)企業(yè)設(shè)備受制于人的關(guān)鍵痛點，大幅降低了國內(nèi)材料檢測機構(gòu)的設(shè)備采購與運維成本，提升了高純材料、集成電路材料等關(guān)鍵產(chǎn)品的質(zhì)量檢測效率，助力企業(yè)突破技術(shù)瓶頸；通過自主可控的檢測裝備，保障了我國在戰(zhàn)略材料領(lǐng)域的供應(yīng)鏈安全與數(shù)據(jù)安全，為高端制造、新能源、航空航天等產(chǎn)業(yè)提供堅實的技術(shù)支撐。
此次交付的商用機型，經(jīng)整機調(diào)試，其豐度、靈敏度等十余項核心關(guān)鍵指標(biāo)一次性通過驗收。設(shè)備現(xiàn)場運行穩(wěn)定、出數(shù)據(jù)快、檢測精度完全達標(biāo)，使用反饋優(yōu)異，充分驗證了國產(chǎn)輝光放電質(zhì)譜儀的可靠性與環(huán)境適應(yīng)性。
Sparkle型輝光放電質(zhì)譜儀由西安交通大學(xué)牽頭攻關(guān)，聯(lián)合西北核技術(shù)研究院、坤元儀器(天津)有限公司、北方工業(yè)大學(xué)、中國科學(xué)院上海硅酸鹽所、鋼研納克檢測技術(shù)股份有限公司、中國計量科學(xué)研究院、國合通用測試評價認(rèn)證股份公司等單位開展儀器整機研發(fā)、工程化產(chǎn)業(yè)化、固體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制和分析方法開發(fā)，實現(xiàn)了關(guān)鍵零部件100%國產(chǎn)化，關(guān)鍵技術(shù)100%自主可控，性能指標(biāo)達到國際先進水平，全面賦能我國集成電路材料領(lǐng)域的痕量雜質(zhì)檢測能力，筑牢產(chǎn)業(yè)自主可控防線，徹底打破了國外技術(shù)封鎖。
